产品介绍

  • M12 热压设备(Hot bar机)
  • 加热方式
    脉冲
  • 机台压头数量
    12组
  • 机台尺寸(mm)
     长 1300 x 寬 1500 x 高 2000
  • UPH
    1800
  • M6P 热压设备(Hot bar机)
  • 加热方式
    脉冲
  • 机台压头数量
    6组
  • 机台尺寸(mm)
     长 700 x 寬 1000 x 高 1850
  • UPH
    900
  • M4 热压设备(Hot bar机)
  • 加热方式
    脉冲
  • 机台压头数量
    4组
  • 机台尺寸(mm)
     长 1400 x 寬 1200 x 高 1850
  • UPH
    600
  • M2 热压设备(Hot bar机)
  • 加热方式
    脉冲
  • 机台压头数量
    2组
  • 机台尺寸(mm)
    长 850 x 寬 1050 x 高 1900
  • UPH
    300
  • M4UM 移载设备(下料机)
  • UPH
    600
  • 特色
    流线不中断
  • 载盘尺寸(mm)
    长 102 x 寬 60 x 高 12
  • 堆叠方式
    伺服带动弹匣
  • 机台工站数量
    2
  • 机台尺寸(mm)
    长 900 x 寬 1200 x 高 1850
  • B4T-S 多轨道输送热压设备(Hot bar机)
  • 加热方式
    脉冲
  • 机台压头数量
    4组
  • 机台尺寸(mm)
    长 1200+600 x 寬 1200 x 高 2000
  • UPH
    300
  • M6R 热压设备(Hot bar机)+AOI系統
  • 加热方式
    脉冲
  • 机台压头数量
    6组
  • 机台尺寸(mm)
    长 1200x 寬 1200 x 高 2000
  • UPH
    900
  • P2 半自动热压设备(Hot bar机)
  • 加热方式
    脉冲
  • 机台压头数量
    1组
  • 机台尺寸(mm)
    长 840 x 寬 800 x 高 1250
  • UPH
    200
  • W1 半自动热压设备(Hot bar机)
  • 加热方式
    脉冲
  • 机台压头数量
    1组
  • 机台尺寸(mm)
    长 640 x 寬 540 x 高 710
  • UPH
    150
  • C1 脉冲加热模组(可搭配各厂设备应用)
  • 加热方式
    脉冲
  • 模组型式选择
    上下 & 左右
  • 机台压头数量
    2 pcs.
  • 压头尺寸(mm)
    MAX:30 x 3 或 MAX:80 x 3
  • 恒温温度精度
    均溫可控在±3℃內
  • 可支援 MES 通信协议(需另付费)
  • 模组尺寸(mm)
    250 x 340 x 250
  • P1-L ACF 贴附设备
  • 加热方式
    脉冲
  • 机台压头数量
    1组
  • 机台尺寸(mm)
    长 1000 x 寬 1100 x 高 1700
  • PA-1000 FOB / FOF 贴片设备
  • 加热方式
    恒温
  • 机台压头数量
    3组
  • 机台尺寸(mm)
    长 1500 x 寬 2000 x 高 2000
  • UPH
    1200

Standard Model
SWC3008
General Specification
(表格内容可透过左右拖移 )
规格内容
Tool NameASTRON (Single Wafer Cleaner)
ModelSWC3008SWC3012SWC3016
No. of Chamber81216
Max. Throughput (wf/hr)480User Spec.User Spec.
Dimension (mm)Width2,2302,3002,300
Length2,1652,7602,760
Height3,1502,4503,150
UsageCleaning & Etching
Wafer Size300mm (200mm Option)
No. of Loadport3 or 4
FAOHT, AGV
ChemicalAcid, Alkali, IPA, Hot DIW, DIW
Robots2 for EFEM & Main (MTR)
Chemical InjectionFront & Backside together
DryIPA liquid + N2
OptionsMegasonic, Nanospray
Uniformity5%