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M12 熱壓設備
(Hot bar機)
加熱方式
脈衝
機台壓頭數量
12組
機台尺寸(mm)
長 1300 x 寬 1500 x 高 2000
UPH
1800
M6P 熱壓設備
(Hot bar機)
加熱方式
脈衝
機台壓頭數量
6組
機台尺寸(mm)
長 700 x 寬 1000 x 高 1850
UPH
900
M4 熱壓設備
(Hot bar機)
加熱方式
脈衝
機台壓頭數量
4組
機台尺寸(mm)
長 1400 x 寬 1200 x 高 1850
UPH
600
M2 熱壓設備
(Hot bar機)
加熱方式
脈衝
機台壓頭數量
2組
機台尺寸(mm)
長 850 x 寬 1050 x 高 1900
UPH
300
M4UM移載設備
(下料機)
UPH
600
特色
流線不中斷
載盤尺寸(mm)
長 102 x 寬 60 x 高 12
堆疊方式
伺服帶動彈匣
機台工站數量
2
機台尺寸(mm)
長 900 x 寬 1200 x 高 1850
B4T-S 多軌道輸送熱壓設備
(Hot bar機)
加熱方式
脈衝
機台壓頭數量
4組
機台尺寸(mm)
長 1200+600 x 寬 1200 x 高 2000
UPH
300
M6R 熱壓設備
(Hot bar機)
+ AOI 系統
加熱方式
脈衝
機台壓頭數量
6組
機台尺寸(mm)
長 1200x 寬 1200 x 高 2000
UPH
900
P2 半自動熱壓設備
(Hot bar機)
加熱方式
脈衝
機台壓頭數量
1組
機台尺寸(mm)
長 840 x 寬 800 x 高 1250
UPH
200
W1 半自動熱壓設備
(Hot bar機)
加熱方式
脈衝
機台壓頭數量
1組
機台尺寸(mm)
長 640 x 寬 540 x 高 710
UPH
150
C1 脈衝加熱模組
(可搭配各廠設備應用)
加熱方式
脈衝
模組型式選擇
上下 & 左右
機台壓頭數量
2 pcs.
壓頭尺寸(mm)
MAX:30 x 3 或 MAX:80 x 3
恆溫溫度精度
均溫可控在±3℃內
可支援 MES 通信協議
模組尺寸(mm)
250 x 340 x 250
P1-L ACF 貼附設備
加熱方式
恆溫
機台壓頭數量
1組
機台尺寸(mm)
長 1000 x 寬 1100 x 高 1700
PA-1000 FOB / FOF 貼片設備
加熱方式
恆溫
機台壓頭數量
3組
機台尺寸(mm)
長 1500 x 寬 2000 x 高 2000
UPH
650
Standard Model
SWC3008
General Specification
(表格內容可透過左右拖移
)
規格
內容
Tool Name
ASTRON (Single Wafer Cleaner)
Model
SWC3008
SWC3012
SWC3016
No. of Chamber
8
12
16
Max. Throughput
(wf/hr)
480
User Spec.
User Spec.
Dimension
(mm)
Width
2,230
2,300
2,300
Length
2,165
2,760
2,760
Height
3,150
2,450
3,150
Usage
Cleaning & Etching
Wafer Size
300mm (200mm Option)
No. of Loadport
3 or 4
FA
OHT, AGV
Chemical
Acid, Alkali, IPA, Hot DIW, DIW
Robots
2 for EFEM & Main (MTR)
Chemical Injection
Front & Backside together
Dry
IPA liquid + N2
Options
Megasonic, Nanospray
Uniformity
5%